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產(chǎn)品名稱：高純氮氣
物理性質
highpuritynitrogen
分子式：N2
性質：純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃，空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。
相對分子質量28.013
熔點63.15K,-210℃,-346oF
沸點，195.6
臨界溫度126.1K,-147.05℃,-232.69oF
臨界壓力3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia
臨界體積90.1cm3/mol
臨界密度0.3109g/cm3
臨界壓縮系數(shù)0.292
偏心因子0.040
液體刻密度,-180℃時0.729g/cm3
液體熱膨脹系數(shù),-180℃時0.007531/℃
表面張力,-210℃時12.2×10-3N/m,12.2dyn/cm
氣體密度,101.325kPa(atm)和70oF(21.1℃)時1.160kg/m3,0.0724lb/ft3
氣體相對密度,101.325kPa(1atm)和70oF時(空氣=1)0.967
汽化熱,沸點下202.76kJ/kg,87.19BTU/1b
熔化熱,熔點下25.7kJ/kg,11.05BTU/1b
氣體定壓比熱容cp,25℃時1.038kJ/(kg·k),0.248BTU/(1b·R)
氣體定容比熱容cp,25℃時0.741kJ/(kg·k),0.177BTU/(1b·R)
氣體比熱容比,cp/cv1.401
液體比熱容,-183℃時2.13kJ/(kg·k),0.509BTU/(1b·R)
因體比熱容,-223℃時1.489kJ/(kg·k),0.356BTU/(1b·R)
氣體摩爾熵,25℃時191.5J/(mol·k)
氣體摩爾生成熵,25℃時0J/(mol·k)
氣體摩爾生成焓,25℃時0KJ/mol
氣體摩爾吉布斯生成能,25℃時0KJ/mol
溶解度參數(shù)9.082(J/cm3)0.5
液體摩爾體積34.677cm3/mol
在水中的溶解度,25℃時17.28×10-6(w)
氣體黏度,25℃時175.44×10-7Pa·s,175.44μP
液體黏度,-150℃時0.038mPa·s,0.038cp
氣體熱導率,25℃時0.02475W/(m·K)
液體熱導率,-150℃時0.0646W/(m·K）[1]
用途
在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。
高純氮消防應急措施
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員到上風處，并進行隔離，嚴格限 制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚，遇點火源著火爆炸。用排風機將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。用霧狀水保持火場中容器冷卻。可用霧狀水噴淋加速液氮蒸發(fā)，但不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮，感到呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫(yī)。
